设备是集成电路制造的“母机”，是保障中国集成电路产业安全的基础。从全球范围来看，集成电路设备领域被美国、日本和欧洲巨头所把控，留给后发国家和地区的空间极为有限。从供给侧和需求侧对比来看，集成电路设备的消费与生产“倒挂”，中国和韩国是全球最大的设备消费国，但美国、日本和欧洲却是最主要的设备生产国和技术来源国，中国集成电路产业的发展在设备环节的“短板”极为显著，成为影响产业安全和产业链稳定的重要隐患。

　　2008-2020年，大陆集成电路设备销售额从18.9亿美元增长到187亿美元，年均复合增速达21.06%。但是，与销售额快速增长形成鲜明对照的是，中国集成电路设备的国产化率极低，其中，光刻、刻蚀、镀膜这三大前道关键工序设备的国产化率最低，其他重要设备的国产化率也低于10%。近年来，受美国对中国集成电路产业的持续打压，加之需求的拉动，国产集成电路设备企业快速发展，尽管在先进制程设备上依然受制于国外设备厂商，但涌现出的一大批创新型企业，成为保障我国集成电路制造安全的重要依托。